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氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统，同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的应用。
氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵，比如8英寸、10英寸和16英寸。氦气压缩机也可以用于不同制造商生产的低温泵。
简介—— 氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。
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氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统，同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的应用。
氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵，比如8英寸、10英寸和16英寸。氦气压缩机也可以用于不同制造商生产的低温泵。
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